真空泵機組是由不同類型的泵串聯而成的機組，抽速相對較大，能更好地適應使用環境。機組的串聯方式有很多種，主要是根據以前泵的變化來命名的，其工作原理自然與不同泵的選擇有關。要了解真空泵機組的工作原理，就要先了解不同泵的原理。
1.水環真空泵的工作原理
水環真空泵葉片的葉輪偏心安裝在圓柱形泵殼內。一定量的水被注入泵中。當葉輪旋轉時，水被甩到泵殼上形成水環，水環的內表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半轂與水環之間的進氣空間逐漸擴大，從而形成真空，使氣體通過進氣管進入泵內的進氣空間。然后氣體進入左半部，由于轂環之間的容積逐漸壓縮，壓力增大，于是氣體通過排氣空間和排氣管排到泵外。
2.旋片真空泵的工作原理
旋片真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封機械真空泵。其工作壓力范圍為101325~1.33倍；10-2(pa)屬于低真空泵?？蓡为毷褂?，也可作為其他高真空泵或真空泵機組的前級泵。它已廣泛應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫藥等生產和科研部門。
3.羅茨真空泵的工作原理
真空泵機組中的羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的連續旋轉，泵送氣體從空氣入口被吸入轉子和泵殼之間的空間v0，然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關閉，泵室中的氣體不會被壓縮和膨脹。然而，當轉子的頂部翻轉排氣口的邊緣并且v0空間與排氣側連通時，由于排氣側的高氣體壓力，一些氣體被沖回到空間v0中，這突然增加了氣體壓力。當轉子繼續旋轉時，氣體從泵中排出。
水環真空泵、旋片真空泵和羅茨真空泵都是作為真空泵機組前置泵的選擇之一。了解了各自的工作原理，我們需要對機組的運行原理有了大致的了解，可以幫助用戶更好的使用。